제품 소개
Temp Controller
ITEM 명칭
General Controller
제품 설명
Fore-Line과 Exhaust-Line 에 특화되어 온도 제어를 하는
Heating Jacket 용 모니터링 Temp Controller
제품 규격
| Category | Specification |
|---|---|
| Model | ATC-212(312) |
| Body Size | 263(403)(W)x360(D)x312(H) |
| Type | 1ch ~ 3ch / 4ch ~ 6ch |
| Supply | Φ1 , 208V , 50/60㎐ |
| Full Load Current | 48A |
| S.C.C.R | 5KA |
| AIC of Protective device | 5KA |
| Current | 8A / ch |
| Power consumption | 5KW |
| Alarm | LBA, HIGH1, HIGH2, HBA |
| Weight | 8kg / 13kg |
| Certificate | CE |
특징
| Item No. ATC-212(312) |
|---|
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ITEM 명칭
Multi Channel Controller
제품 설명
정밀 제어가 필요한 Gas Line에 설치되는Heating Jacket에
특화된 개별 온도 제어 기능의 Multi Channel Controller
제품 규격
| Category | Specification |
|---|---|
| Model | ATC-412 |
| Body Size | 550(W)x600(D)x1230(H) |
| Type | 72ch |
| Supply | Φ1 , 208V , 50/60㎐ |
| Full Load Current | 50A |
| S.C.C.R | 10KA |
| AIC of Protective device | 10KA |
| Current | 0.7A / ch |
| Power consumption | 10KW |
| Alarm | LBA, HIGH1 |
| Weight | 94kg |
| Certificate | - |
특징
| Item No. ATC-412 |
|---|
|
ITEM 명칭
Pre-Heating Controller
제품 설명
설비의 Chamber에 Wafer를 이송하기 전 단계에서
Wafer를 예열하는 Heating Jacket 전용 Temp Controller
제품 규격
| Category | Specification |
|---|---|
| Model | ATC-531 |
| Body Size | 603(W)x502(D)x213(H) |
| Type | 6ch |
| Supply | Φ3 , 208V , 50/60㎐ |
| Full Load Current | 50A |
| S.C.C.R | 18KA |
| AIC of Protective device | 18KA |
| Current | 30A / ch |
| Power consumption | 18KW |
| Alarm | LBA, HIGH1, HIGH2, HIGH3 |
| Weight | 30kg |
| Certificate | - |
특징
| Item No. ATC-531 |
|---|
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